고무 점착척
PSC
고체와 액체의 중간 형태의 반유동체로서 고무 자체의 자기 점착성과 피흡착 물질과의 접촉에 의한 계면 장력을 이용하여 기판을 흡착하는 척
| Specifications | ||
|---|---|---|
| Dielectric | Silicone, Urethane | |
| Dimensions | Size | ≤ 200 * 200mm |
| Thickness | 1 ~ 3 mm | |
| Chucking Force | 0.5 ~ 5.0 kgf/㎠ | |
| Operating Temperature | ≤ 60 ℃ | |
| Electrical Properties | Electrical Character | 10E6~9 |
| Surface Flatness | <0.1mm | |
Diaphragm PSC
고탄성 소재로 내압성을 향상시킨 점착척으로 Chucking 및 De-Chucking 용이
| Specifications | ||
|---|---|---|
| Dielectric | Silicone, NR | |
| Dimensions | Size | ≤ 300 * 300mm |
| Thickness | 2 ~ 5 mm | |
| Allowable Pressure | ≤ 0.3 Mpa | |
| Cycle Time | ≤ 5sec | |
| Chucking Force | 0 ~ 2.0 kgf/㎠ | |
| Operating Temperature | ≤ 100 ℃ | |
| Electrical Properties | Electrical Character | 10E6~9 |
| Surface Flatness | <0.2mm | |
