투명 정전척
Transparent ESC
- 광투과율 80% 이상의 표면 굴곡 (Topology) 이 없는 Transparent ESC
- 상/하부 양면에서 Defect 및 Contamination의 Inspection & Fine Alignment 가능
| Specifications | ||
|---|---|---|
| Dielectric | Transparent Films | |
| Dimensions | Size | ≤ 300x300 ㎟ |
| Thickness | ≥ 10 ㎜ | |
| Operating Temperature | ≤ 80 °C | |
| Operating Voltage | ~ 5.0 kV DC | |
| Chucking Force | ≤ 15 gf/㎠ | |
| Surface Flatness | ≥ 20 ㎛ | |
